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真空滲碳爐，也稱為低壓滲碳或LPC。在該設備工作原理，將氣體（例如乙炔）作為分壓引入熱區，溫度通常在1,600和1,950°F（870和1070℃）之間。氣體分解成其組成元素（在這種情況下為碳和氫）。然后碳擴散到部件的表面區域中。通常重復該功能，改變氣體輸入的持續時間和擴散時間。旦工作負荷被適當地“裝箱”，則使用油或高壓氣體（HPGQ）淬火金屬。對于HPGQ，通常使用氮氣或更快的淬火氦氣。

真空滲碳爐結構與井式氣體滲碳爐類似，為圓形井式外殼密封焊接。由爐殼、爐襯、爐蓋升降機構、真空密封風機、馬弗罐及加熱元件等組成。爐襯是由高純陶瓷全 纖維保溫結構，更加節能節電。滲碳爐升降機構上同樣斷電保護裝置，當爐蓋打開時自動切斷控溫柜主回路電源，滲碳爐停止工作，爐蓋壓緊關閉時自動接通回路， 滲碳爐才能開始工作，有效防止了安全操作事故。

真空滲碳爐是在真空容器中，利用輝光放電使滲碳氣體電離，所產生的碳離子在電場作用下轟擊爐料表面進行滲碳的熱處理爐。